干式真空泵
- 產(chǎn)品名稱：干式真空泵
- 產(chǎn)品分類：干式真空泵系列
- 公司名稱：卡塞爾機(jī)械（浙江）有限公司
- 聯(lián)系方式：135-7576-9127 153-5682-6256
- 公司地址：浙江安吉天子湖工業(yè)園天子湖大道卡塞爾工業(yè)園
- 添加時(shí)間： 2020/11/09
干式真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
更新時(shí)間：20/11/09 16:24:11
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